东 京 电 子 公 司 和 Tohoku 大 学 的 科 学 家 日 前 正 加 紧 合 作 开 发 一 种 能 大 大 降 低 芯 片 制 造 成 本 的 新 制 造 工 艺。 这 种 新 系 统 可 望 将 芯 片 制 造 成 本 降 低 至 现 在 的 1/5。
据 悉， 该 系 统 仍 将 采 用 现 今 生 产 芯 片 的 洁 净 室， 但 允 许 采 用 更 大 的 硅 片 用 于 芯 片 制 造。 比 如 说， 新 工 艺 使 得 在 12 英 寸 的 硅 片 上 制 造 下 一 代 256 兆 位 DRAM 芯 片 成 为 可 能。
该 系 统 可 望 在 半 年 后 完 成。
