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荷兰ASML的新型微影设备可制造更小芯片

出处:ChinaByte 作者: 2004-04-22 14:13 评论
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荷兰电子芯片设备制造商ASML周二推出最新的平版印刷工具,这种工具能够制造出更薄的电路和更小的芯片

  ChinaByte 4月22日消息 荷兰电子芯片设备制造商ASML周二(4月20日)推出最新的微影设备,这种工具能够制造出更薄的电路和更小的芯片,让该公司取得领先日本对手的优势。

  微影设备能在硅晶圆上安排电路,是芯片制造过程中的核心。这种机器每台平均售价1000万欧元(1,200万美元),但最先进的产品价格还要更贵。

  新型ASML机器名为Twinscan XT:1400,可以大量制造薄至65纳米的带电路芯片,比能大量制造70纳米等级产品的XT:1250型机器更加先进。

  这种新型设备将在2004年12月出货,它还可以升级,以用于‘潮湿’半导体生产。这种制程将液体注入镜片与硅晶圆之间,以提升焦点的深度和解析度。(完)

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